Оборудование, разрабатываемое в Лаборатории возобновляемых источников энергии Академического университета, стало одним из ярких экспонатов на Российском форуме «Микроэлектроника 2025».
Мухин Иван Сергеевич, заведующий лабораторией и проректор по науке СПбАУ, и Шугуров Константин Юрьевич, научный сотрудник лаборатории, представили на форуме лазерный литограф ЛУЧ-2, который в настоящее время разрабатывается в лаборатории при поддержке «Лазерного центра».
ЛУЧ-2 демонстрирует впечатляющие результаты, достигнутое разрешение литографии составляет 700 нм. Текущая версия установки получила новый опорный стенд с пневматическими демпферами, значительно снижающими воздействие внешних вибраций.
Помимо литографа, на выставке была впервые представлена новая разработка лаборатории – прецизионный моторизированный стол СМ-240Л. Стол, спроектированный и изготовленный специалистами лаборатории, оснащен линейными серводвигателями и обеспечивает перемещение образцов с точностью до 1 микрона в пределах рабочего поля 154х154 мм. Данный обновленный стол будет установлен на ЛУЧ-2, заменив предыдущую версию на шаговых двигателях.
Важно отметить, что прецизионные координатные столы подобного форм-фактора на данный момент не производятся в России, что делает разработку СМ-240Л перспективным решением для замещения импортных аналогов и укрепления технологической независимости страны. Разработка демонстрирует высокий потенциал отечественных исследований в области микроэлектроники.
