Наука
Установка высокочастотного магнетронного напыления Auto 500 RF Boc Edwards
![Установка высокочастотного магнетронного напыления Auto 500 RF Boc Edwards](/assets/components/phpthumbof/cache/ustanovka-vyisokochastotnogo-magnetronnogo-napyileniya-auto-500-rf-boc-edwards.bc0ade4e96532b27ccfadb2ce233d018.jpg)
Установка предназначена для вакуумного магнетронного напыления металлов и диэлектрических покрытий различного функционального назначения: просветляющие покрытия, контактные площадки, маски для фотолитографии, прозрачные проводящие покрытия. Основной особенностью метода является высокая адгезия покрытий и большая скорость напыления. Благодаря многоканальной системе напуска газа, покрытия можно осаждать с помощью реактивного напыления. Предусмотрена система нагрева подложек до 200°С. Контроль толщины покрытия осуществляется методом микробаланса кварцевого кристалла.
![](/assets/theme/images/au-logo-full.png)