Установка термического напыления Auto 500 Boc Edwards

Установка предназначена для вакуумного напыления металлов и диэлектрических покрытий. В установке реализован нагрев испаряемых материалов с помощью протекания тока через лодочки, а также с помощью разогрева материала в тиглях электронной пушкой. Предусмотрена система нагрева подложек до 200°С. Контроль толщины покрытия осуществляется методом микробаланса кварцевого кристалла или с помощью оптической системы.