Наука
Установка проекционной фотолитографии Suss MJB4
![Установка проекционной фотолитографии Suss MJB4](/assets/components/phpthumbof/cache/ustanovka-proekczionnoj-fotolitografii-suss-mjb4.bc0ade4e96532b27ccfadb2ce233d018.jpg)
Ручная установка совмещения и экспонирования предназначена для контактной литографии на пластинах диаметром до 76 мм. Установка литографии характеризуется субмикронным разрешением, в пределе достигающим 0,5-0,8 мкм, за счет использования оптики с функцией уменьшения дифракции, компенсирующей нежелательные эффекты при литографии с микрозазором или в контактном режиме. Оборудование используется в производстве МЭМС и оптоэлектроники, микрофлюидных чипах. Система поддерживает режимы работы для наноимпринт-литографии в УФ. Установка MJB4 оборудована системой совмещения сверху с ручным управлением.
![](/assets/theme/images/au-logo-full.png)