Наука
Установка лазерной фотолитографии Heidelberg DWG 66FS
![Установка лазерной фотолитографии Heidelberg DWG 66FS](/assets/components/phpthumbof/cache/ustanovka-lazernoj-fotolitografii-heidelberg-dwg-66fs.bc0ade4e96532b27ccfadb2ce233d018.jpg)
Лазерный генератор изображений характеризуется разрешением вплоть до 0,6 мкм и предназначен для задач НИОКР, мелкосерийного и опытного производства. Литограф используется при формировании топологических структур на металлизированных фотошаблонах при производстве интегральных схем, а также для формирования структур на пластине, при производстве структур фотоники, электроники, интегрированной оптики, биочипах и др. Для обеспечения высокоточного перемещения лазерного луча генератор оборудован оптической интерферометрической системой позиционирования подложки.
![](/assets/theme/images/au-logo-full.png)