Установка лазерной фотолитографии Heidelberg DWG 66FS

Лазерный генератор изображений характеризуется разрешением вплоть до 0,6 мкм и предназначен для задач НИОКР, мелкосерийного и опытного производства. Литограф используется при формировании топологических структур на металлизированных фотошаблонах при производстве интегральных схем, а также для формирования структур на пластине, при производстве структур фотоники, электроники, интегрированной оптики, биочипах и др. Для обеспечения высокоточного перемещения лазерного луча генератор оборудован оптической интерферометрической системой позиционирования подложки.