Эллипсометр

Лазерный эллипсометр обладает возможностями проведения измерений пленок под фиксированным углом падения излучения для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглощения) на различных типах поверхностей на одной длине волны с точностью менее ангстрема.