Наука
Установка лазерного контроля поверхностных дефектов Surfscan 4000 (Tencor Instruments, США)
Установка Surfscan 4000 (Surfscan 4000 Wafer Surface Defect and Contamination Analyzer) позволяет быстро измерить число поверхностных дефектов, расположение дефектов по пластине и распределение дефектов по размерам бесконтактным способом. Установка позволяет измерять любые непрозрачные полупроводниковые пластины радиусом до шести дюймов. Размеры измеряемых дефектов варьируются от 0.06 мкм2 до 255 мкм2.
Установка позволяет получать карту дефектов, гистограмму распределения дефектов по размерам и карту haze с X-Y адресацией.
