Установка молекулярно-пучковой эпитаксии Riber Compact 21 EB 200 (Riber, Франция)

Установка молекулярно-пучковой эпитаксии Riber Compact 21 EB200 предназначена для решения большого спектра научно-исследовательских задач. Установка позволяет осуществлять синтез полупроводниковых гетероструктур на основе A3B5 соединений, а также кремния и германия.
Установка состоит из шлюзовой камеры, обеспечивающей быструю загрузку и выгрузку образцов, камеры подготовки с возможностью предварительного отжига подложек и ростовой камеры, имеющей вертикальную геометрию и оснащенную 10 источниками материалов, среди которых:
•    Эффузионные источники Ga, In, Al, Zn и Mn;
•    Крекинговые источники As и P;
•    Плазменный источник азота;
•    Источники Si и Ge с электронно-лучевыми испарителями.
Ростовая камера также оборудована современными диагностическими системами контроля роста, а именно: квадрупольным масс-спектрометром для анализа остаточной атмосферы, системой дифракции быстрых отраженных электронов, ИК-пирометром, системой измерения потоков Si и Ge на основе кварцевых микровесов.
.