Установка интерференционного измерения прогиба и шероховатости пластин Logitech GI30 (Logitech, Великобритания)

Установка измерение прогиба полупроводниковых структур – установка Logitech GI30 позволяет измерять прогиб структур с точность до 1мкм и получать карту распределения прогиба по пластине, диаметр пластин до 150 мм, интервал измерения отклонения от плоскостности от 0 до 30 мкм.
Определение отклонения от плоскостности происходит по интерференционной картине, сформированной светом, отраженным от образцовой (оптической) плоскости и от поверхности исследуемой пластины. Если контролируемая поверхность идеально плоская, то наблюдаемые интерференционные полосы равной ширины имеют форму прямых равноотстоящих линий. Если на контролируемой поверхности имеются какие-либо изгибы (углубления или выступы, или она не строго плоская), то в области расположения этих изгибов пластины наблюдаются отклонения от прямолинейности интерференционных полос, пропорциональные кривизне поверхности.
Измерения проводят при движении оптической плоскости относительно поверхности исследуемой пластины, чтобы отличить выпуклость от вогнутости, а также измерить величину наибольшего отклонения от плоскостности, как расстояние от точки максимальной вогнутости до точки максимальной выпуклости поверхности образца. На основании анализа полученной интерференционной картины прибор определяет значение отклонения от плоскостности поверхности образца.