Установка для напыления серии Auto 500 (BOC Edwards, Великобритания)

Установка Auto 500 предназначена для нанесения в вакууме металлических пленок, в том числе высокочистых пленок металлов с высокой температурой плавления, термическим методом и с помощью распыления электронным пучком. 
Установка Auto 500 имеет две позиции термического напыления и 4 позиции распыления электронным пучком. Для получения высокой адгезии напыляемого материала к поверхности полупроводника, установка оснащена возможностью чистки (активизации) поверхности структур в аргоновой плазме, а также подогревом столика. 
Установка Auto 500 позволяет одновременно напылять металлические пленки на 5 подложек 2 или 3 дюйма. Однородность напыления достигается за счет вращения столика..