Установка для быстрого термического отжига контактов JetFirst100 (Jipelec, Франция)

JetFirst100предназначена для проведения термической обработки полупроводниковых структур в среде N2, Ar, N2+Н2(3-5%) а также на воздухе. Диапазон рабочих температур в камере: 20 °С – 1300 °С. Точность поддержания температуры: ±2 °С. Размер образцов для термообработки: от 10 мм до 100 мм. Максимальная скорость нагрева - 200 °С/сек.
Установка оснащена компьютерным управлением, позволяющим задавать и контролировать в режиме реального времени температурно-временные параметры термообработки, расход газов, а также сохранять данные по термообработке в электронном виде.