ПрофилометрAmbiosXP-1 (AmbiosTechnology , США)

Профилометр Ambios XP-1 производит измерение величин ступенек после процессов литографии, травления, металлизации.
Технология линейного сканирования рабочего столика и оптически плоская поверхность (6 A/мм) гарантируют высокую точность измерений. Повторяемость результатов не менее 10A или 0.1% от номинальной высоты ступеньки. Диапазон измеряемых значений составляет от 5 нм до 100 мкм.
XP-1 использует стилус с минимальной массой и инертный модуль стилуса, для минимизации взаимодействия наконечник/образец с нагрузкой менее 0.05 mгр.