Прибор для бесконтактного измерения сопротивления LEI 1510A SA (Lehighton Electronics Inc., США)

Фотография рабочего места: 1- УБИС; 2 – коммутирующее устройство; 3 – СКиОД; 4 – монитор СКиОД; 5 – насос.

Прибор для бесконтактного измерения сопротивления LEI 1510A SA предназначен для измерения удельного (при известной толщине) и слоевого сопротивления полупроводниковых материалов вихретоковым методом. В основе неразрушающего контроля методом вихревых токов лежит регистрация изменений электромагнитного поля вихревых токов, наводимых возбуждающей обмоткой вихретокового преобразователя (ВТП) в электропроводящем объекте контроля. Интенсивность и распределение вихревых токов в объекте зависит от его геометрических размеров, электромагнитных параметров и от взаимного расположения ВТП и объекта.
    Область применения – исследование и испытание полупроводниковых структур и материалов для производства изделий  нано- и микроэлектроники.