Микрозондовая установка SUSS MicroTec модели РМ 8 (SUSS MicroTec, Германия)

Микрозондовая установка PM8 оснащена микроскопом Mitutoyo FS70Z-S с увеличением х20, х100, х200, х500 и двукратным оптическим зумом, тремя 3х координатными подвижками для позиционирования микрозондов (игл) PH150 с вакуумным креплением. Предметный столик микрозондовой установки диаметром 200 мм оснащён механическим подъёмным механизмом с ручным приводом (ход 10мм), возможностью вакуумной фиксации и ручного перемещения в горизонтальной плоскости в диапазоне 200х200 мм, а также точного перемещения в диапазоне 10х10мм с точностью < 1 мкм. 
Микрозондовая установка может соединяться с различным измерительным оборудованием: LCR-измерителем E4980A, анализатором цепей  E8364B и анализатором полупроводниковых приборов AgilentB1500A.