Микроскоп Leica INM 100 (Leica Microsystems GmbH, Германия)

Инспекционная станция Leica INM 100 позволяет детектировать качество поверхности образца с разрешением 5-150 крат, размерами вплоть до 6 дюймов с возможностью использования White/Dark Field и записью на компьютер полученных изображений.
Микроскоп Leica INM 100 – это полуавтоматический оптический микроскоп высокого разрешения. Он оснащен моторизированной высокопарацентрической головкой для объективов на шесть посадочных мест с резьбой М32. Микроскоп оснащен тринокулярным тубусом с изменяемым углом наблюдения от 00 до 350 и широкопольными окулярами. 
Система фокусировки с изменяемой чувствительностью обеспечивает быструю грубую и тонкую настройку на фокус, оптимизированную для конфокального контраста. Модульная концепция микроскопа предусматривает использование теле- и микро-фотооборудования.
Инспекционная станция Leica INM 100 дополнительно оснащена желтым фильтром для быстрой характеризации размеров в процессе литографии без засветки фоторезиста.