Электронный сканирующий микроскоп Supra 25 Zeiss (Zeiss, Швейцария) с литографической приставкой Raith Elphy Quantum (Raith, Германия).

Электронный сканирующий микроскоп Supra 25 предназначен для характеризации поверхности структур, а также сколов структур с разрешением вплоть до 0,0015 мкм и увеличением вплоть до 500 000 крат.
Столик сканирующего микроскопа позволяет закреплять образцы диаметром до 3 дюймов и исследовать структуры под углом от 30° до -2° от нормали. 
Установка электронной литографии Raith Elphy Quantum на базе сканирующего микроскопа Supra 25 позволяет проводить процессы электронной литографии с максимальным разрешением 0,015-0.2 мкм в зависимости от топологии структуры.