Оборудование

Установка молекулярно-пучковой эпитаксии RIBER49 (Riber, Франция)

Установка молекулярно-пучковой эпитаксии RIBER49 (Riber, Франция)

Установка лазерного контроля поверхностных дефектов Surfscan 4000 (Tencor Instruments, США)

Установка лазерного контроля поверхностных дефектов Surfscan 4000 (Tencor Instruments, США)

Установка молекулярно-пучковой эпитаксии Veeco GEN 200 (Veeco,США)

Установка молекулярно-пучковой эпитаксии Veeco GEN 200 (Veeco,США)

Установка молекулярно-пучковой эпитаксии Riber Compact 21 EB 200 (Riber, Франция)

Установка молекулярно-пучковой эпитаксии Riber Compact 21 EB 200 (Riber, Франция)

Установка интерференционного измерения прогиба и шероховатости пластин Logitech GI30 (Logitech, Великобритания)

Установка интерференционного измерения прогиба и шероховатости пластин Logitech GI30 (Logitech, Великобритания)

ПрофилометрAmbiosXP-1 (AmbiosTechnology , США)

ПрофилометрAmbiosXP-1 (AmbiosTechnology , США)

Эллипсометр Horiba Jobin Yvon (Jobin Yvon, Франция)

Эллипсометр Horiba Jobin Yvon (Jobin Yvon, Франция)

Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла Ecopia HMS 3000 (Ecopia Corp., Корея)

Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла Ecopia HMS 3000 (Ecopia Corp., Корея)

Прибор для бесконтактного измерения сопротивления LEI 1510A SA (Lehighton Electronics Inc., США)

Прибор для бесконтактного измерения сопротивления LEI 1510A SA (Lehighton Electronics Inc., США)

Микроскоп  Leica INM 100 (Leica Microsystems GmbH, Германия)

Микроскоп Leica INM 100 (Leica Microsystems GmbH, Германия)

Электронный сканирующий микроскоп Supra 25 Zeiss (Zeiss, Швейцария) с литографической приставкой Raith Elphy Quantum (Raith, Германия).

Электронный сканирующий микроскоп Supra 25 Zeiss (Zeiss, Швейцария) с литографической приставкой Raith Elphy Quantum (Raith, Германия).

Дифрактометр рентгеновский ДРОН-8 (Буревестник, Россия)

Дифрактометр рентгеновский ДРОН-8 (Буревестник, Россия)

Установка фотолюминесценции и оптического отражения Accent RPM Sigma (Accent Optical Technologies, США)

Установка фотолюминесценции и оптического отражения Accent RPM Sigma (Accent Optical Technologies, США)

Установка для лазерной литографииDWL 66FS (Heidelberg instruments)

Установка для лазерной литографииDWL 66FS (Heidelberg instruments)

Установка для напыления серии Auto 500 (BOC Edwards, Великобритания)

Установка для напыления серии Auto 500 (BOC Edwards, Великобритания)

Установка для быстрого термического отжига контактов JetFirst100 (Jipelec, Франция)

Установка для быстрого термического отжига контактов JetFirst100 (Jipelec, Франция)

Установка для плазмохимического травления Plasmalab System100 ICP 380 (Oxford instruments, Великобритания)

Установка для плазмохимического травления Plasmalab System100 ICP 380 (Oxford instruments, Великобритания)

Установка плазмохимического осаждения Oxford Plasmalab system 100 PECVD (Oxford instruments, Великобритания)

Установка плазмохимического осаждения Oxford Plasmalab system 100 PECVD (Oxford instruments, Великобритания)

Химическая комната

Химическая комната

Сдвоенная система очистки воды Elix 5Milli-QAdvantage (Millipore, Франция)

Сдвоенная система очистки воды Elix 5Milli-QAdvantage (Millipore, Франция)

Установка шлифовки и полировки пластин Logitech LP50 (Logitech, Великобритания)

Установка шлифовки и полировки пластин Logitech LP50 (Logitech, Великобритания)

Микрозондовая установка SUSS MicroTec модели РМ 8 (SUSS MicroTec, Германия)

Микрозондовая установка SUSS MicroTec модели РМ 8 (SUSS MicroTec, Германия)

Прецизионный измеритель LCR Agilent E4980A  (Agilent Technologies, USA)

Прецизионный измеритель LCR Agilent E4980A (Agilent Technologies, USA)

Анализатор цепей серии PNAE8364B (Agilent Technologies, США)

Анализатор цепей серии PNAE8364B (Agilent Technologies, США)

Анализатор полупроводниковых приборов Agilent B 1500A (Agilent Technologies, USA)

Анализатор полупроводниковых приборов Agilent B 1500A (Agilent Technologies, USA)