« Лаборатория наноэлектроники
Установка молекулярно-пучковой эпитаксии RIBER MBE49 (Riber, Франция) Установка лазерного контроля поверхностных дефектов Surfscan 4000 (Tencor Instruments, США) Установка молекулярно-пучковой эпитаксии Veeco GEN 200 (Veeco,США) Установка молекулярно-пучковой эпитаксии Riber Compact 21 EB 200 (Riber, Франция) Установка интерференционного измерения прогиба и шероховатости пластин Logitech GI30 (Logitech, Великобритания) ПрофилометрAmbiosXP-1 (AmbiosTechnology , США) Эллипсометр Horiba Jobin Yvon (Jobin Yvon, Франция) Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла Ecopia HMS 3000 (Ecopia Corp., Корея) Прибор для бесконтактного измерения сопротивления LEI 1510A SA (Lehighton Electronics Inc., США) Микроскоп Leica INM 100 (Leica Microsystems GmbH, Германия) Электронный сканирующий микроскоп Supra 25 Zeiss (Zeiss, Швейцария) с литографической приставкой Raith Elphy Quantum (Raith, Германия). Дифрактометр рентгеновский ДРОН-8 (Буревестник, Россия) Установка фотолюминесценции и оптического отражения Accent RPM Sigma (Accent Optical Technologies, США) Установка для лазерной литографииDWL 66FS (Heidelberg instruments) Установка для напыления серии Auto 500 (BOC Edwards, Великобритания) Установка для быстрого термического отжига контактов JetFirst100 (Jipelec, Франция) Установка для плазмохимического травления Plasmalab System100 ICP 380 (Oxford instruments, Великобритания) Установка плазмохимического осаждения Oxford Plasmalab system 100 PECVD (Oxford instruments, Великобритания) Химическая комната Сдвоенная система очистки воды Elix 5Milli-QAdvantage (Millipore, Франция) Установка шлифовки и полировки пластин Logitech LP50 (Logitech, Великобритания) Микрозондовая установка SUSS MicroTec модели РМ 8 (SUSS MicroTec, Германия) Прецизионный измеритель LCR Agilent E4980A (Agilent Technologies, USA) Анализатор цепей серии PNAE8364B (Agilent Technologies, США) Анализатор полупроводниковых приборов Agilent B 1500A (Agilent Technologies, USA)
Оборудование
Установка молекулярно-пучковой эпитаксии RIBER MBE49 (Riber, Франция)
Установка лазерного контроля поверхностных дефектов Surfscan 4000 (Tencor Instruments, США)
Установка молекулярно-пучковой эпитаксии Veeco GEN 200 (Veeco,США)
Установка молекулярно-пучковой эпитаксии Riber Compact 21 EB 200 (Riber, Франция)
Установка интерференционного измерения прогиба и шероховатости пластин Logitech GI30 (Logitech, Великобритания)
ПрофилометрAmbiosXP-1 (AmbiosTechnology , США)
Эллипсометр Horiba Jobin Yvon (Jobin Yvon, Франция)
Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла Ecopia HMS 3000 (Ecopia Corp., Корея)
Прибор для бесконтактного измерения сопротивления LEI 1510A SA (Lehighton Electronics Inc., США)
Микроскоп Leica INM 100 (Leica Microsystems GmbH, Германия)
Электронный сканирующий микроскоп Supra 25 Zeiss (Zeiss, Швейцария) с литографической приставкой Raith Elphy Quantum (Raith, Германия).
Дифрактометр рентгеновский ДРОН-8 (Буревестник, Россия)
Установка фотолюминесценции и оптического отражения Accent RPM Sigma (Accent Optical Technologies, США)
Установка для лазерной литографииDWL 66FS (Heidelberg instruments)
Установка для напыления серии Auto 500 (BOC Edwards, Великобритания)
Установка для быстрого термического отжига контактов JetFirst100 (Jipelec, Франция)
Установка для плазмохимического травления Plasmalab System100 ICP 380 (Oxford instruments, Великобритания)
Установка плазмохимического осаждения Oxford Plasmalab system 100 PECVD (Oxford instruments, Великобритания)
Химическая комната
Сдвоенная система очистки воды Elix 5Milli-QAdvantage (Millipore, Франция)
Установка шлифовки и полировки пластин Logitech LP50 (Logitech, Великобритания)
Микрозондовая установка SUSS MicroTec модели РМ 8 (SUSS MicroTec, Германия)
Прецизионный измеритель LCR Agilent E4980A (Agilent Technologies, USA)
Анализатор цепей серии PNAE8364B (Agilent Technologies, США)
Анализатор полупроводниковых приборов Agilent B 1500A (Agilent Technologies, USA)
