Установки молекулярно-пучковой эпитаксии Riber Compact 21TM (Riber, Франция)

Установка молекулярно-пучковой эпитаксии (МПЭ) Compact 21TM фирмы Riber (Франция) предназначена для синтеза полупроводниковых соединений типа A3B5. В отличие от стандартных МПЭ установок, данный комплекс оборудования обладает рядом уникальных характеристик. Наличие дополнительной камеры, предназначенной не только для плазменной очистки поверхности ростовых подложек, но и для осаждения тонких слоев металлов, например, необходимых для создания капель катализаторов роста полупроводниковых нитевидных нанокристаллов, а также in situ осаждения контактных слоев, существенно расширяют возможности данного оборудования. С другой стороны использование данной МПЭ установки позволяет осуществлять синтез уникальных материалов, поскольку она укомплектована следующим набором ростовых ячеек: Ga, In, Al, P, As, Sb, N, Si, Be.