Оборудование

Импульсный имитатор солнечного излучения

Установка высокочастотного магнетронного напыления Auto 500 RF Boc Edwards

АСМ Раман Bruker

Установка подготовки деионизованной воды Millipore

Эллипсометр

Комплекс для нанесения фото- и электронных резистов Suss Delta 6

Фотоэнергетический комплекс с системой слежения за солнцем

Установка проекционной фотолитографии Suss MJB4

Установка термического напыления Auto 500 Boc Edwards

Установка молекулярно-пучковой эпитаксии Veeco GENIII

Установка плазменной очистки Plasma Finish

Установка быстрого термического отжига Jipelec JetFirst 100

Установка измерения спектральных характеристик фотопреобразовательных структур

Сканирующий электронный микроскоп Zeiss Supra 25

Профилометр AmBios XP-1

Оптический микроскоп высокого разрешения Vistek INM 100

Многофункциональный измерительный комплекс на основе азотного криостата

Установка лазерной фотолитографии Heidelberg DWG 66FS
